데이터베이스연구회

□ 사례 15 - 로봇암용 블레이드 - ▶분야 : 기계(일반기계) ▶기술내용 : 부도체 재질의 몸체부에 전도체가 설치되어 웨이퍼와 몸체부 사이에 정전기가 발생하는 것을 방지함으로써, 정전기에 의해서 웨이퍼가 오염되거나 스파크를 일으키는 것을 방지하면서 웨이퍼를 고정시키기 위한 로봇암의 블레이드 ▶TITLE ○작성내용 : BLADE OF ROBOT ARM IN WHICH MAIN BODY OF THE BLADE IS EQUIPPED WITH CONDUCTOR TO PREVENT STATIC ELECTRICITY BETWEEN WAFER AND THE MAIN BODY ○의견 : 로봇암용 블레이드에 대해 본 발명의 구체적 특징인 “몸체부에 전도체를 설치하여 정전기 발생을 방지한다”는 내용이 적절하게 반영되어 있음 ▶PURPOSE ○작성내용 : A blade of a robot arm is provided to prevent a wafer from being contaminated or spark from being generated due to static electricity caused by the blade main body which is made of a non-conductive material. ○의견 : 본 발명의 기술적 과제인 “부도체 재질의 몸체부에 의해 발생하는 정전기가 웨이퍼를 오염시키거나 스파크를 일으키는 것을 방지한다”는 내용이 명확하게 기재되어 있음 ▶CONSTITUTION ○작성내용 : A blade of a robot arm includes a main body(100) and a connection unit(200). The main body supports the rear surface of a wafer, and has a surface where an electric conductor(110) is exposed. The connection unit is extended from the main body and connected to a robot arm. The electric conductor is arranged in the main body so as to prevent the generation of static electricity between the main body made of a non-conductive material and the wafer. ○의견 : 로봇암용 블레이드의 전체적 구성을 비롯해 본 발명의 기술적 과제 해결을 위한 특징인 “부도체 재질의 몸체부에 전도체를 설치한다”에 해당하는 내용이 구체적으로 기술되어 있음