생산기술특허연구회

LIGA 가공 기술 및 이를 이용한 정밀 금형의 제작 Ⅱ - 포항공대 포항가속기 연구소 장석상 박사 국내에서도 첨단 과학 시설인 제 3세대 가속기 연구소가 포항에 건설되고, 1999년에 관련 빔라인이 건설이 되면서 이러한 LIGA 관련 연구가 시작되었다. 국내의 여러 연구그룹이 포항 가속기연구소 내의 X-선 나노/마이크로머시닝 빔라인을 이용하여 관련 연구를 진행 중이며 특히 전자부품연구원(KETI)이 주로 산업 기술로의 직접적 응용을 위한 관련 연구를 진행하였고, 광부품 및 센서 등을 개발하기도 하였다. 아래 그림에서 전자 부품 연구원의 연구팀이 가속기 내의 LIGA 빔라인을 이용하여 개발한 각종 부품들이 나타나 있다. 이러한 LIGA 기술은 향후 정밀 금형과 같은 분야에서 그 기술의 우수성을 인정받을 것으로 기대되며 보다 많은 실험, 연구가 진행되고, 직접적인 산업체 응용을 위한 산학연간의 긴밀한 유대관계가 이루어진다면 더욱더 발전이 예상된다. 3) LIGA 기술 이용을 위한 가이드 현재 국내에서 이러한 LIGA 기술을 이용한 관련 실험을 수행하고, 초미세 부품의 가공 및 정밀 금형 등을 개발하기 위해서는 포항 가속기 연구소 내의 X-선 나노/마이크로머시닝 빔라인을 이용하여야 한다. 포항 가속기 연구소의 순수 과학 분야 지원의 성격과 방사광이라는 어느 정도는 난해한 개념의 실험 장치를 이용하여야 한다는 부담 및 정보의 부족으로 인해 실제 산업체에서 이러한 방사광을 이용한 실험은 아주 활발하지는 않은 실정이다.특히 이러한 관련 분야 이외 비전공 분야의 산업에서는 사실 그 사용이 많지 않은 실정이다. 이에 특히 LIGA 기술을 이용한 관련 실험의 수행을 위한 가이드를 제시하고자 한다. 우선 가속기 연구소는 정부의 지원을 받아 운영되는 거대 첨단 과학 시설인 만큼 그 이용자체는 자유로우며 비용 또한 무료이다. 단지, 빔라인을 이용한 실험의 수행 후 1년 이내에 실험에 관한 결과 보고서를 제출하도록 규정되어 있다. 물론 기술 보안이 중요하다고 여겨지는 경우는 비용을 부담하고, 비공개로 진행할 수도 있다. 3. 결 론 LIGA 기술 관련 실험을 수행하기 위한 X-선 나노/마이크로머시닝 빔라인은 현재 비숙련 이용자들이 관련 실험을 수행할 수 있도록 관련 설비들을 구축하는 사업을 진행 중이다. 그래서 과거에는 관련 설비의 미비로 LIGA 공정에 익숙하지 않은 이용자들의 관련 실험이 용이하지 않았으나 06년 현재 어느 정도의 시설이 갗추어 지게 되었다. 따라서 향후에는 비숙련 이용자들이 LIGA 기술을 이용하여 연구, 개발하는 것이 훨씬 용이할 것으로 기대되고, 가속기 연구소에서도 이는 계속적으로 지원을 할 예정이다. 그림 4에서는 현재 빔라인과 관련 실험을 위한 청정실을 나타내었다. 설비의 이용이나 연구 개발이 필요한 마이크로 구조물 및 정밀 금형 등에 대한 기술 문의는 연구소의 LIGA 연구팀으로 문의하면 얻을 수 있으며 시설 이용시에는 연구소 내 담당자의 지원을 받을 수 있다. 출처 : 한국금형공업협동조합 회보