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마이크로 머신 기술을 이용한 압력센서 |
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| 글쓴이 김상희 2007.08.26 00:00 | 조회수 2503 0 스크랩 0 |
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Fraunhofer institute에서 발표한 자료로,
마이크로 머신 기술을 용한 압력센서(Surface Micromachined Pressure Sensor)에
관한 사항을 다루고 있으며, 구체적으로는 작동원리, 제조 기술, 실제 적용등에
관한 사항을 기술하고 있습니다.
(참고: 영문자료)
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