특허법제연구회

고전압 펄스 플라즈마 응용분야가 전 산업분야에 널리 활성화되기 위해서는 무엇보다도 ns 이하의 고전압 펄스 플라즈마를 발생시키기 위한 수십 kV 내지 수백 kV에서 역회복시간 및 고속동작이 가능한 펄스파워 스위칭 기술이 필수적이다. 즉, 플라즈마 에너지를 얼마나 짧은 시간내(통상적 범위 : 100만분의 1초 내지 10억분의 1초)에 플라즈마 에너지를 자르고 전자(electron)를 가속시켜서 필요한 요소에 공급해 줄 수 있냐가 바로 플라즈마의 응용분야를 결정짓는다고 해도 과언이 아닐 정도로 펄스 파워 스위칭 기술은 대부분 방전분야에 있어서 그 전기적 특성을 결정짓는 중요한 인자로 작용한다. 따라서, 펄스 플라즈마를 발생시키는데 널리 이용되는 스파크 갭과 같은 일반적 스위칭 소자부터 인덕터의 가포화특성을 이용하는 최신 스위칭 소자인 자기스위치까지 그 구조, 성능 등에 중점을 두고 간략히 소개하고자 한다.