차세대반도체연구회

출원번호 10-2007-134167

출원일 2007.12.20.

IPC G03F 7/039

발명의 명칭 포지티브형 감광성 수지 조성물

심판번호 2011당2232

심결일 2012.12.2.

청구의 이유
1. 청구항 4의 보정에서의 신규사항 추가(* 무효심판내에서의 정정청구)
2. 청구항 1, 3, 및 5의 인용발명 1 내지 3에 의한 신규성 및 진보성 부정

주요 기술 내용

□ 발명의 기술분야 및 목적
- 기술분야: 반도체 재료
- 목적: 회로패턴공정에 대한 고감도로 해상도 구현에 유용한 유기발광소자의 유기 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물의 제공

□ 보정 후 등록된 청구항 1, 3 및 5
청구항 1. 노볼락 수지(‘구성 1’), 감광성 화합물(‘구성 2’), 감도증진제(‘구성 3’) 및 용매(‘구성 4’)를 포함하는 포지티브형 감광성 수지 조성물에 있어서, 알콕시알킬멜라민 화합물(‘구성 5’)을 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물(‘구성 6’)
청구항 3. 제1항에 있어서, 알콕시알킬멜라민 화합물은 메톡시메틸멜라민 화합물 또는 헥사메톡시메틸멜라민 화합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
청구항 4. 제1항에 있어서, 노볼락 수지 100 중량부, 감광성 화합물 30 내지 80중량부, 감도증진제 3 내지 15중량부, 멜라민(Melamine)계 화합물 10 내지 30중량부 및 용매 300 내지 800중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
청구항 5. 제1항의 포지티브형 감광성 수지 조성물을 이용한 포토리소그라피 방법에 의해 형성된 절연층을 포함하는 유기발광소자.

무효 이유

□ 청구항 4의 신규사항추가로 인정
- ‘감광성 화합물 30중량부 이하, 감도증진제 3 내지 5, 용매 30 내지 120 중량부’를 ‘감광성 화합물 30 내지 80중량부, 감도증진제 3 내지 15중량부, 멜라민(Melamine)계 화합물 10 내지 30중량부 및 용매 300 내지 800중량부’로 보정
 

□ 신규성 및 진보성 부정
(* 의견제출통지서의 인용발명은 무효증거로 사용되지 아니함)
- 인용발명들
1. 공개특허공보 제2004-82947호(2004. 9. 30. 공개)
2. 공개특허공보 제2002-72529호(2002. 9. 16. 공개)
3. 공개특허공보 제2007-102017호(2007. 10. 18. 공개)
- 판단(아래 대비표 참조)
o 청구항 1 및 3은 인용발명 1에 의하여 신규성 부정
o 청구항 5는 인용발명 1 및 2에 의하여 진보성 부정